证券之星消息，根据企查查数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆清洗设备的输液系统”，专利申请号为CN9.3，授权日为2024年3月8日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆清洗设备的输液系统，包括酸洗槽、硫酸供应源、双氧水供应源、第一混合装置、第二混合装置和反馈控制板；所述第一混合装置和所述第二混合装置均包括混合管道、设于所述混合管道内的多节混合螺杆以及包裹于所述混合管道外的加热器。本发明通过分段混合的方式实现了硫酸和双氧水的充分混合，达到了温度的精确控制、保证了混合液的充分反应，从而确保了进入酸洗槽内的混合液符合清洗要求，提高了晶圆清洗的品质和效率。
今年以来至纯科技新获得专利授权4个，较去年同期减少了50%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了9939.58万元，同比增67.83%。
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